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线切割单、多晶硅机床砂浆液调配的研究

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上传时间：2021-07-06 03:45:50
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资料分类：机械书籍

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砂浆机床线切割多晶硅

摘要∶线切割机对硅片切割能力的强弱，与砂浆的粘度有着不可分割的关系。而砂浆的粘度又取决于硅片切割液的粘度、硅片切割液与碳化硅微粉的适配性、硅片切割液与碳化硅微粉的配比比例、砂浆密度等。只有达到机器要求标准的砂浆粘度，才能在切割过程中提高切割效率和成品率。

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