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基于双频激光干涉仪的重型数控机床定位精度测量

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上传时间：2021-07-28 02:27:56
文档格式：PDF电子书
资料分类：机械书籍

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干涉仪双频精度数控机床测量

摘要∶采用激光干涉仪对重型数控机床纵向上两段位置定位精度进行测量，得到目标位置点的定位精度和重复定位精度，并对试验值进行了分析，为探索利用虚拟检测方法得到全程精度值打下一定的基础。

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