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超大规模集成电路工艺学

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工艺学集成电路超大规模

超大规模集成电路工艺学
上海交通大学
1987

本书讨论了硅集成电路的工艺原理,包括晶体生长和片子制备,外延介质和多晶硅淀积等。

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