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微电子器件可靠性

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微电子 可靠性 器件
微电子器件可靠性
作者： 史保华 
西安电子科技大学    
出版日期：2000

本书主要讨论硅基器件(分立与集成)的可靠性。全书共分9章，内容包括概述、可靠性的数学基础、失效物理、失效分析、可靠性设计、工艺可靠性、使用可靠性、可靠性试验、可靠性管理等。部分章末给出了复习思考题，以便于教学。
本书为高等学校电子信息类微电子技术专业硕士研究生教材，也可作为相应专业高年级学生及从事微电子器件可靠性工作的工程技术人员的阅读参考书。



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