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GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板
GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板
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上传时间:2021-05-29 09:41:50
文档格式:PDF电子书
资料分类:国家标准
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石英玻璃
基板
GB
光掩模
GB/T 34178-2017
光掩模石英玻璃基板
Silica glass substrates for photomask
2018-08-01 实施
2017-09-07发布
前言
本标准按照 GB/T1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由中国建筑材料联合会提出。
本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)归口。
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