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GB/T 34091-2017 六氟乙烷电子工业用气体

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GB/T 34091-2017 六氟乙烷电子工业用气体

GB/T 34091-2017 六氟乙烷电子工业用气体

GB/T 34091-2017
六氟乙烷电子工业用气体
Gas for electronic industry—Hexafluoroethane
2017-11-01 实施
2017-07-31 发布
本标准按照 GB/T 1.1-2009 给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）提出并归口。

 
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